三安光电1日晚间发布公告称，公司全资子公司厦门三安光电有限公司于2016年6月30日收到厦门火炬高技术产业开发区办理委员会给予设备补贴款净额20850万元。至今，厦门三安光电有限公司53台腔设备补贴款60，850万元悉数收到。
依据公司与厦门火炬高技术产业开发区办理委员会签署《出资协议》，厦门火炬开发区办理委员会赞同给予本公司项目公司规划200台MOCVD设备补助，单台以2英寸54片金额500万元为基数进行折算，随项目公司付款进展分期付出。
2014年9月26日、2014年12月10日，厦门三安光电有限公司向德国AIXTRON SE和维易科精密仪器国际贸易有限公司订货了算计100台腔MOCVD设备。2014年12月15日、2014年12月26日，厦门三安光电有限公司收到厦门火炬高技术产业开发区办理委员会给予设备补贴款40，000万元。
2015年12月11日，厦门三安光电有限公司停止收购德国AIXTRON SE47台腔设备。现在，厦门三安光电有限公司具有53台腔MOCVD设备。
